有機廢氣催化燃燒設備的主體結構由催化燃燒裝置主機、鍋爐引風機及電控柜組成。催化燃燒裝置的主機由換熱器、預熱室、催化床、組或過濾器和防暴器組成的整體結構。阻火過濾（防塵）器位于進氣管道上，防暴器在主機的頂部。

有機廢氣催化燃燒設備在將廢氣進行催化燃燒的過程中，廢氣經管道由風機送入熱交換器進行一次升溫，再進加熱室將廢氣加熱到催化燃燒所需要的起始溫度。經過加熱的廢氣通過催化劑層使之燃燒。由于催化劑的作用，催化燃燒法廢氣燃燒的起始溫度約為250-300℃，大大低于直接燃燒法的燃燒溫度670-800℃，因此能耗遠比直接燃燒法低。同時在催化劑的活性作用下，反應后的氣體產生一定的熱量，高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱冷卻，然后終以較低的溫度經風機排入大氣。

催化燃燒裝置裝有溫度探頭及補冷閥，當爐體催化室反應溫度超過設定上限時，開啟補冷閥對進氣源進行稀釋，保護設備延長使用壽命，防止意外發生。清大有機廢氣催化燃燒設備的主體結構由凈化裝置主機、引風機及電器控制元件組成。