光氧催化廢氣處理設備利用光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結構，使或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。

河北清大光氧催化廢氣處理設備利用高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),眾所周知臭氧對物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有的   效果。

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