光氧催化設備與其他廢氣處理設備相比，不僅可以凈化有機廢氣還可以消毒殺菌，這得益于裝置中高能臭氧UV紫外線極強的氧化性，可以破壞細菌病毒的DNA分子結構。

在凈化有機廢氣方面，光氧催化設備可處理的廢氣成分有：氨、C3H9N、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳、C8H8、硫化物、VOC類、C6H6、C7H8、C8H10等。

光氧催化廢氣處理設備的作用機理是：利用高能高臭氧UV紫外線光束（以下簡稱UV紫外線光束）裂解廢氣分子結構，使有機高分子化合物分子鏈斷裂，轉變成CO2、H2O等低分子無機化合物。

UV紫外線光束可以把空氣中的氧分子裂解生成游離氧（即活性氧），因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，產生臭氧。反應方程式如下：

UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)

臭氧對有機物具有較強的氧化作用，尤其是對工業有機廢氣。廢氣經排風設備通入到反應室后，UV紫外線光束及臭氧對廢氣進行分解氧化反應，使之降解為低分子化合物，再通過排風管道排出室外。

初級電子在電場中獲得加速，撞擊空氣中的氧分子，當能量超過氧分子的電離電位時，氧分子迅速離子化。失去電子的氧分子變成正極性氧離子（O2+），而釋放的電子又與另一中性氧分子結合變成負極性氧離子（O2-），結果是氧離子的兩級分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等聚集的離子群，可在很短的時間內將污染空氣中的有害成分氧化分解為無害的產物和水；

此外UV紫外線光束還可以破壞細菌的DNA序列以達到殺菌消毒的目的。從廢氣處理的角度考慮，采用脈沖電暈吸附技術，-C波段紫外線結合電暈裝置，可破壞硫化氫、氨、C6H6、C7H8、C8H10、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、C3H6O、尿烷、樹脂等廢氣分子的分子結構，使有機物轉變為無機物。