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深圳市志圣全智能裝備有限公司

工業(yè)烤箱、隧道爐、曝光機(jī)、干燥箱、固化機(jī)

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志圣全智能公司SZ-QMO晶圓無(wú)塵真空氮?dú)夂婵鞠?/h1>

產(chǎn)品價(jià)格面議

產(chǎn)品品牌志圣全智能

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供貨總量20 臺(tái)

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更新日期2025-11-14 08:50

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商品信息

基本參數(shù)

品牌:

志圣全智能

所在地:

廣東 深圳市

起訂:

≥1 臺(tái)

供貨總量:

20 臺(tái)

有效期至:

長(zhǎng)期有效

品牌:

志圣全智能

參數(shù):

SZ-QMO

廠家:

深圳市
詳細(xì)說(shuō)明
志圣全智能公司生產(chǎn)的晶圓無(wú)塵真空氮?dú)夂婵鞠洌菍?zhuān)為半導(dǎo)體、集成電路及MEMS等高端制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)的先進(jìn)熱處理設(shè)備。其核心應(yīng)用特點(diǎn)在于創(chuàng)新性地融合了無(wú)塵、真空與氮?dú)夥諊箨P(guān)鍵技術(shù)。設(shè)備內(nèi)部通過(guò)高效粒子空氣過(guò)濾器營(yíng)造穩(wěn)定的百級(jí)乃至更高標(biāo)準(zhǔn)的無(wú)塵環(huán)境,徹底隔絕外界顆粒污染,保障晶圓在熱處理過(guò)程中的極致潔凈。同時(shí),其高密封性的真空系統(tǒng)能在工藝初始快速移除腔體內(nèi)的氧氣與水汽,有效防止加熱時(shí)晶圓表面的氧化現(xiàn)象。在此基礎(chǔ)之上,設(shè)備通入高純度氮?dú)庾鳛楣に嚪諊粌H為熱傳導(dǎo)提供了均勻穩(wěn)定的介質(zhì),更能進(jìn)一步抑制氧化,確保晶圓材料特性的完整性與電學(xué)性能的穩(wěn)定。這一系列技術(shù)的協(xié)同作用,使得該烘烤箱在去除光刻膠殘留、激活離子注入、進(jìn)行低溫合金化及晶圓鍵合前的表面處理等關(guān)鍵工藝中表現(xiàn)出色。其應(yīng)用范圍廣泛覆蓋了從邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片制造到功率器件、先進(jìn)封裝乃至第三代半導(dǎo)體材料(如SiC、GaN)的燒結(jié)固化等多個(gè)核心環(huán)節(jié)。憑借精準(zhǔn)的溫控、卓越的穩(wěn)定性和強(qiáng)大的工藝適配性,該設(shè)備已成為提升產(chǎn)品良率、保障芯片可靠性的不可或缺的工藝裝備。


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