英國KP開爾文探針掃描-半導體表征  
開爾文探針掃描系統包括：  
□單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；  
□掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；  
□超真空(UHV)開爾文探針；  
□濕度控制的腐蝕開爾文探針；  
英國KP開爾文探針掃描-半導體表征  
系統配置  
這是一款可以被大多數客戶所接收的掃描開爾文探針系統，它是在ASKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置，其規格如下：  
□2毫米，50微米探針；  
□功函數分辨率1-3meV(2毫米針尖)，5-10meV(50微米針尖)；  
□針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內；  
□表面勢和樣品形貌3維地圖；  
□探針掃描或樣品掃描選配；  
□彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置；  
□參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌)；  
□備用的針尖放大器；  
□24個月超長質保期；  
英國KP  
http://www.airtest.net.cn/Products-31156705.html  
https://www.chem17.com/st17159/product_31156705.html